方光刻机的运行原理大体相同,最大的不同就是在于光源部分。
西方世界的光刻机目前所用的主流光源还是高压汞灯,而华国已经用上了气体激光。
虽然西方世界已经有人提出了氟-氪气体激光的设想,却也仅仅只是一个实验室设想,才刚刚开始起步。
距离实验成功并在光刻机上面自如运用,不知道还需要多长时间。
而华国却直接拿出了极为成熟的氦-氖气体激光器。
这就让他们的注意力不能不被吸引过来。
前几个月凤凰集团申请‘氦-氖气体激光器’专利时,西方几大光刻机生产厂就对这个专利极为感兴趣,非常想要了解详细内情。
然而凤凰集团当时根本就不愿意与他们交流专利的具体细节。
凤凰集团声称要把光刻机完全制造成功之后,才会考虑是否交流。
由于凤凰集团的保密措施做得实在太好,西方公司此前根本无法打探到这款气体激光器的任何情报。
现在终于见到了‘庐山真面目’,所有人自然恨不得把眼睛都粘上去。
然而他们终究是没有透视能力。
眼光都快瞪爆炸了,却仍然还是无法隔过外包装铁壳将其看穿。
“快了快了。马上就能知道它到底如何了。”
百般无奈之下,专家们不得不按捺住急迫心情,不停地自我安慰。